机译:原子层沉积掺杂空间控制Er〜(3+)的Y_2O_3薄膜的光学性质
机译:双层厚度对热原子层沉积生长的Al2O3-Y2O3介电纳米层压膜光学性能的影响
机译:通过空间原子层沉积制备的铝氧化锌薄膜的宽带光学性能
机译:基于掺杂Y2O3薄膜的光致发光性能通过自由基增强原子层沉积
机译:反馈控制的整合和运行控制对氧化铪薄膜的等离子体增强的原子层沉积
机译:快速热退火对原子层沉积生长Zr掺杂ZnO薄膜的结构电学和光学性质的影响
机译:快速热退火对原子层沉积生长Zr掺杂ZnO薄膜的结构,电学和光学性质的影响